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97改造UV蚀刻机DUV光刻机登场（第3页）

“最主要的是，原先汞灯产生的紫外光源被我更换成准分子激光的深紫外光源，也就是DUV光源，使用这种光源蚀刻硅片能拥有更高的精度！”

“同时我将浸入技术集成到了仪器里。”

“现在这台仪器，不应该叫UV蚀刻机，应该叫它DVU光刻机。”

二壮和小六两人同时浑身一震。

尽管他们不明白光刻机代表什么，但从陈工那压不住的嘴角就能知道，这东西绝对不简单！

二壮小心翼翼道，

“那那那现在这台DVU光刻机的精度是。。。？”

陈泽耸耸肩，无奈道，

“受材料和工艺限制，很可惜，只能大概达到120纳米。”

“120纳米！！”

二壮猛灌一大口冷气，惊呼出声。

表情几乎凝固。

眼神呆滞。

嘴巴张大，嘴角都要裂开了。

他作为技术人员，对于纳米这个单位非常了解！

1纳米=0。000001毫米！

120纳米，无法想像那得有多么微小！

简直达到了人类能探索的精度极限！！

小刘也惊的眼球巨震。

嗓子里像是卡了什么东西，上不来气了！

陈泽稍微停顿了一下，喃喃道，

“DUV深紫外光源不是光刻机的尽头，EUV极紫外光源才是光刻机真正的未来，咱们要走的路还长！”

说到这，看向二壮，

“二壮，多叫几个人，将这台DUV光刻机平稳的吊装到外面，我要把它装进直20。”

“是！”二壮猛的站直，朗声回应。

半小时后，在一伙人努力下，DUV光刻机安稳的装进了直20货舱。

满满当当，再多一点也装不下了。

当然，这也是陈泽提前考虑了外形尺寸，在改装的时候，特殊留意。

DVU光刻机虽然不如EUV光刻机那么精密，也受不了太大扰动。

平常的道路运输过于颠簸，肯定不行。

使用这台直20，刚好合适。

陈泽没有继续在奉都兵工厂这边逗留，和二壮六子他们交代一番，登上直20。

一键启动，轻拉操控杆。

直升机缓慢上升，远离地面，带着轰鸣飞向远空。

不到10分钟，飞抵废旧船坞上空。

陈泽目光透过前挡风玻璃看向斜下方。

船坞厂区的一处空地上，亮着一圈红色地灯。

巨大醒目的‘H’停机标志赫然出现在地灯中央。